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Primo nanova R. P13. P15. VOC净化设备. VOC air purifier for industrial use. 28英寸超大反应腔. MOCVD设备. Prism...

2021年6月9日，中微半导体设备（上海）股份有限公司在上海总部举办电感耦合等离子体（ICP）刻蚀设备Primo nanova®第100台反应腔交付客户庆祝仪式。

Primo nanova · TSV Etch System · Primo TSV ... AMEC Singapore. Advanced Micro-Fabrication Equipme...

设备还采用了多区细分的高动态范围温控静电吸盘，使加工出的集成电路器件的关键尺寸达到高度均匀性。Primo nanova适用于1X纳米及以下的逻辑和存储器件的刻蚀应用。 产品 ...